センサ・アクチュエータ用無機能性薄膜プロセス技術 .ゾルーゲル法によるPZT薄膜の合成と評価
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概要
著者
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平野 眞一
Nagoya University
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余語 利信
Division Of Nanomaterials Science Ecotopia Science Institute Nagoya University
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坂本 渉
Division Of Nanomaterials Science Ecotopia Science Institute Nagoya University
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平野 眞一
名古屋大学
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余語 利信
名古屋大学エコトピア科学研究所
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坂本 渉
名古屋大学
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Sakamoto Wataru
Res. Inst. Bioresources Okayama Univ.
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Sakamoto Wataru
Division Of Applied Biosciences Graduate School Of Agriculture Kyoto University
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Sakamoto Wataru
Faculty Of Agriculture Kyoto University
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