MOVPEによるφ4インチ高均一HEMT系エピウェハの量産技術

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-03-06

著者

• 目黒 健

  日立電線

• 坂口 春典

  日立電線

• 乙木 洋平

  日立電線 半導体技術部

• 乙木 洋平

  日立電線株式会社日高工場半導体部技術課

• 土屋 忠厳

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 坂口 春典

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 高橋 進

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 目黒 健

  日立電線株式会社日高工場

• 目黒 健

  日立電線株式会社化合物半導体事業部

• 目黒 健

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

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