乙木 洋平 | 日立電線 半導体技術部
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概要
関連著者
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乙木 洋平
日立電線 半導体技術部
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日立電線
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田中 丈士
日立電線 半導体技術部
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鴨川 弘幸
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日立電線 アドバンスリサーリセンタ
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日立電線株式会社化合物半導体事業部
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目黒 健
日立電線株式会社 化合物半導体事業部
著作論文
- MOVPE法によるマイクロ波デバイス用III-V化合物半導体エピタキシャルウエハの大口径・量産技術
- MOVPE法によるGaAs系電子デバイス用薄膜成長と応用 (特集 化合物半導体の可能性を再点検する)
- CT-1-3 化合物半導体高周波デバイス用エピタキシャル成長技術(CT-1.移動体通信を支える化合物半導体デバイス,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
- MOVPEによるφ4インチ高均一HEMT系エピウェハの量産技術
- 高周波GaAsデバイス用半絶縁性基板およびエピタキシャルウエハ