目黒 健 | 日立電線株式会社化合物半導体事業部

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関連著者

• 目黒 健

  日立電線株式会社化合物半導体事業部

• 目黒 健

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

• 藤倉 序章

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンター

• 大島 祐一

  日立電線株式会社 先端電子材料研究部

• 吉田 丈洋

  日立電線株式会社 先端電子材料研究部

• 斉藤 俊也

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

• 藤倉 序章

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

• 目黒 健

  日立電線

• 斉藤 俊也

  北海道大学大学量子界面エレクトロニクス研究センター

• 藤倉 序章

  日立電線株式会社化合物半導体事業部

• 斉藤 俊也

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• 大島 祐一

  日立電線株式会社先端電子材料研究部:独立行政法人物質材料研究機構環境エネルギー材料部門

• 吉田 丈洋

  日立電線株式会社先端電子材料研究部

• 坂口 春典

  日立電線

• 乙木 洋平

  日立電線 半導体技術部

• 乙木 洋平

  日立電線株式会社日高工場半導体部技術課

• 土屋 忠厳

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 坂口 春典

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 高橋 進

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンタ

• 目黒 健

  日立電線株式会社日高工場

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著作論文

• MOVPEによるφ4インチ高均一HEMT系エピウェハの量産技術
• 硬さ制御に基づく高表面晶質、低転位GaN自立基板の実現(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,関連技術,及び一般)
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• 硬さ制御に基づく高表面品質、低転位GaN自立基板の実現
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