硬さ制御に基づく高表面品質、低転位GaN自立基板の実現

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概要

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• 2011-11-10

著者

• 藤倉 序章

  日立電線株式会社アドバンスリサーチセンター

• 目黒 健

  日立電線株式会社化合物半導体事業部

• 大島 祐一

  日立電線株式会社 先端電子材料研究部

• 吉田 丈洋

  日立電線株式会社 先端電子材料研究部

• 斉藤 俊也

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

• 目黒 健

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

• 藤倉 序章

  日立電線株式会社 化合物半導体事業部

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