2-4 集積化MEMS(2. RF MEMS)(<特集>日本のモノづくりを支えるJisso技術)
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概要
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MEMS (Micro ElectroMechanical Systemの略)技術による高性能,高機能な高周波デバイスは,数年内の実用化を目指し,様々な障壁を乗り越えようとしている.今後は,可動部分の長寿命化や,可変機能回路の新構成などメリットが目に見える研究だけでなく,集積技術や実装技術など,実用化のための技術にも注目が集まる.特に,集積技術は回路の小型化を通じて低価格化へつながる重要な技術である.本稿では集積化の必要性と,解決のために必要な技術の例を紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-01
著者
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