エリプソメトリー法を用いたミリ波帯における複素誘電率測定に関する基礎検討
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概要
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本研究では,エリプソメトリー法に着目し,この方法を応用してミリ波帯における,複素誘電率の測定法を確立するため,種々の誤差検討や測定における精度等に関する検討を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-05-01
著者
-
橋本 修
青山学院大学
-
酒井 泰二
青山学院大学理工学部電気電子工学科
-
続山 浩二
(株)プリンテック
-
橋本 修
青山学院大 理工
-
酒井 泰二
青山学院大学理工学部
-
山崎 貴昭
青山学院大学理工学部
-
続山 浩二
三井化学株式会社
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