極微小金属スリットを用いた光波帯近接場と電子との相互作用
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概要
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本研究は,真空中の電子とレーザー光との相互作用を,クライストロン型相互作用回路である微小金属スリット回路を用いて実現し,光波帯での光-電子相互作用のメカニズムを量子効果を含め実験的,理論的に明らかにするものである.微小金属スリットの理論設計値に基づき,半導体製作技術による回路試作を行い,スリット幅270nmのサブミクロンサイズの尾根型微小金属スリット回路の製作に成功した.又,光波帯における表皮効果を考慮した実効的な金属スリット幅を調べるため,新たに近接場顕微鏡方式の計測装置の開発を行い,製作した装置が5nm以下の精度でスリット幅測定が可能であることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-12
著者
-
石川 亮
電気通信大学情報通信工学科
-
水野 皓司
東北大学 電気通信研究所
-
〓 鐘石
東北大学 電気通信研究所
-
〓 鐘石
名古屋工業大学大学院機能工学専攻
-
岡本 達哉
東北大学 電気通信研究所
-
石川 亮
東北大学 電気通信研究所
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