ピッグテールファイバ付き高Δ導波路部品の低損失化の検討
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概要
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光導波路型部品の小形化、低損失化、低コスト化を目的として、光導波路のコアとクラッドとの比屈折率差Δを大きく取った高Δ導波路を検討し、コアにSiOxNyHzを用いることにより、Δが2%の低損失導波路を開発した。またこの高Δ導波路の入、出力端にΔが0.3%のシングルモードファイバを接続した光部品の低損失化を新しい接続方法を用いることにより達成することができた。さらに上記膜中に含まれているOH基およびSi-H基に依存する吸収損失を1200℃の高温熱処理により、大幅に低減することができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-23
著者
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