F添加SiO_2クラッド層で覆ったSiON : 導波路の1.5μm帯での低損失化
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
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井本 克之
日立電線アドバンスリサーチセンタ
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堀 彰弘
日立電線アドバンスリサーチセンタ
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平本 道広
サムコインターナショナル研究所
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北門 雅俊
サムコインターナショナル研究所
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平本 道広
サムコインターナショナル研 開発部
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