誘電体共振器法による高温超伝導薄膜の表面抵抗の測定精度
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概要
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超伝導体の表面抵抗R_sのマイクロ波測定によく用いられる2種類の誘電体共振器法について、その測定精度を検討する。第1は長さが整数倍異なる2個の共振器を用いる方法(2共振器法)で、第2は1個の共振器に存在する2つの共振モードTE_012とTE_021を用いる方法(1共振器法)である。12GHzで0.1mΩをもつYBCO薄膜のR_sを測定した結果、誘電正接tanδが10^-7以下のサファイア円柱を用いた2共振器法における測定誤差は10%、tanδは10^-6程度のBMTセラミックス円柱を用いた1共振器法における測定誤差は40%となり、R_sの小さい測定にはtanδの小さい誘電体を用いることが必要であることを実証した。また、より小さい面積の超伝導体を測定するための誘電体の最適寸法について計算する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-11-19
著者
-
小林 禧夫
埼玉大学 工学部 電気電子システム工学科
-
吉川 博道
京セラ株式会社
-
吉川 博道
埼玉大学 工学部
-
岡嶋 伸吾
埼玉大学工学部
-
岡嶋 伸吾
埼玉大学 工学部
-
小林 禧夫
埼玉大学 工学部 電気電子システムエ学科
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