高温超伝導薄膜の表面抵抗測定装置の開発

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概要

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本報告では、2誘電体共振器法を用いた高温超電導薄膜の表面抵抗の自動測定システムの概略を述べる。この測定装置では、極低温下において0.01mmの精度で同軸励振線の挿入長を調節することができる。また、Vコネクタを用いた同軸系システムの採用によりマイクロ波帯からミリ波帯までの測定を行うことができる。さらに、低いR_Sをもつ薄膜に対し、従来の開放形共振器を改良し放射損の少ない遮へい形共振器により測定を行なった。その結果、12GHz、20KにおいてYBCO薄膜のR_Sは0.1±0.01mΩとなり、±10%以内の測定精度が得られた。
社団法人電子情報通信学会の論文
2000-12-15

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