有限厚金属グレーティングを斜め伝搬する弾性表面波の高速解析法
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概要
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本報告では、金属グレーティングを斜め伝搬する弾性表面波に対する高速解析手法を提案する。金属グレーティングの開口長を無限とした場合、定常状態に於ては横方向に三角関数的または指数関数的に変化する。このため、横方向の波数を新たなパラメータとして加えて解析することにより、筆者らが以前に報告している垂直入射の場合に対する解析手法を若干変更することにより容易に解析することができる。電極部の解析に有限要素法(FEM)を用いており、任意の電極形状を有する場合についても適用可能である。また、基板部の解析にはスペクトル領域法を用い、Blφtekjaerの手法を適用して電極端部への電荷の集中を考慮しているため、高速であるという特徴を持つ。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-22
著者
-
遠藤 剛
富士通株式会社
-
橋本 研也
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
山口 正恆
千葉大学 工学部 電子機械工学科
-
遠藤 剛
千葉大学 理
-
大丸 誠
千葉大学工学部電気電子工学科
-
大丸 誠
千葉大学 工学部 電気電子工学科
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