弾性表面波モータの動作条件と機械出力
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概要
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スライダとステータの接触部に直径1mm程度の金属球などを用いて接触圧力を100MPa程度に高める事で約10MHzの弾性表面波(レーリー波)による、摩擦駆動型超音波モータの駆動に成功している.今回はさらに磁力を用いて接触圧力を増すことで駆動の性能の向上に成功した.駆動に最適な圧力を実験的に検討し,振動振幅と予圧による弾性変形との関係を明らかにしている.これまでの実験により,最高速度0.8m/sec,応答時間0.5msec以下,単位面積当たりの推力として50N/mm^2を得ている.また, 1軸駆動を行うためにV字型の治具を作成し1軸駆動実験を行った.さらに,駆動周波数を20MHzに上げて駆動に成功しており,さらなる小型化の可能性のある事がわかってきた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-16
著者
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