検査パターン細線化による合致 / 非合致パターンマッチング率高差異化の検討
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概要
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合致, 非合致状態でのパターンマッチング率を高差異化することを目的に, 2値化された楕円縞状パターンでのパターンマッチング率の計算機実験を行った.その結果, 検査パターンの黒ピクセル比を0.5から0.3, 0.1と細線化することによって, 登録細線パターンとの合致 / 非合致を識別するパターンマッチング率を高差異化できること, 検査パターンへのランダム雑音混入に対しても高耐性を保持できること, 50μm程度の合致時の位置ずれに対しても有効であることを示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-07-25
著者
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