複数種の半導体ガスセンサーを用いた多成分ガスの同時定量(<特集>センサー)
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概要
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酸化物半導体ガスセンサーは小型, 簡易でしかも高いガス検出感度を有している反面, ガス選択性の欠如のために定量分析への応用はほとんど行われていない.この問題点を解決し, 高精度な定量分析を行うことを目的に, 混合ガスに対する新たなセンサー応答モデルを提案し, 複数種のセンサーを用いた多成分ガスの同時定量を検討した.データ解析手法として重回帰分析法を導入することで, ガス濃度とセンサー応答との間に相関のよいモデルを作成することができ, 精度よく多成分ガスの同時定量を行うことができた.本論文では, 8種のSnO_2半導体ガスセンサーを用いた2,3,5成分系混合ガスの同時定量結果について, センサー応答モデルの相関性及び定量精度を報告すると共に, センサー個数が定量精度に及ぼす影響, クラスター分析による最適センサーの選択結果などについても報告する.
- 1990-11-05
著者
-
早川 泰弘
新日本製鐵株式会社先端技術研究所
-
小野 昭紘
新日本製鐵(株) 先端技術研究所
-
小野 昭紘
新日本製鉄(株)第一技術研究所
-
小野 昭紘
新日本製鐵(株)先端技術研究所:(現)(社)日本分析化学会
-
佐々木 慎一
豊橋技術科学大学
-
阿部 英次
豊橋技科大
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