知識ベースに基づく半導体プロセス診断システムにおけるマンマシンインターフェイス

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概要

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半導体製品の開発、製造には、ノウハウ技術が多数存在する。その異常診断には、対象の物理化学現象に関する理論的知識だけでなく、熟練技術者の経験的知識が必要である。しかし、プロセスの複雑化により経験的知識は多数の人に分散する傾向にある。このような背景から、知識の共有、高度化による迅速な診断を狙いとした、診断システムの開発が望まれている。定性的な因果関係知識と、実験式や理論式などの数式モデルとの組合せ活用を特徴とする半導体プロセス診断方式を既に提案した。さらに、本方式に基づく診断システムTEGMAPをワークステーション上に開発した。本論文では、そのマンマシンインタフェース方式とソフトウェア構成を提案する。
一般社団法人情報処理学会の論文
1986-10-01

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