27pA4 CZ法Si成長における表面対流の観察及び酸素溶解シミュレーション(バルク結晶成長シンポジウムII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1993-07-10
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