CZ法におけるシリコン融液表面の対流の直接観察 : 融液成長V

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1992-06-25

著者

• 白石 裕

  コマツ電子金属(株)研究開発センター

• 白石 裕

  新技術事業団木村融液動態プロジェクト

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