超高均一GaAs気相エピタキシャル層の成長 : III-V族化合物半導体など

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1980-07-05

著者

• 柴富 昭洋

  富士通研究所

• 米野 純次

  (株)富士通研究所

• 米野 純次

  富士通研究所 厚木研究所

• 柴富 昭洋

  (株)富士通研究所

• 大川 潭二

  富士通研究所

• 野上 雅春

  富士通研究所

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