米野 純次 | (株)富士通研究所

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• 野上 雅春

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著作論文

• 有機V族原料を用いた有機金属気相成長
• 超高均一GaAs気相エピタキシャル層の成長 : III-V族化合物半導体など
• 横型炉を用いたGaAs VPEの多数枚同時成長法 : エピタキシー(VPE)

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