横型炉を用いたGaAs VPEの多数枚同時成長法 : エピタキシー(VPE)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1978-11-05

著者

• 米野 純次

  (株)富士通研究所

• 米野 純次

  富士通研究所 厚木研究所

• 大川 潭二

  富士通研究所

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