GaAs気相エピタキシャル層のキャリア濃度制御 : エピタクシー

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1974-11-01

著者

• 中山 治郎

  富士通 第二半導体技術部

• 米野 純次

  富士通 第二半導体技術部

• 塚越 喜雄

  富士通 第二半導体技術部

• 鈴木 茂

  富士通 第二半導体技術部

• 米野 純次

  富士通研究所 厚木研究所

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