米野 純次 | 富士通研究所 厚木研究所

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概要

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• 米野 純次

  富士通研究所 厚木研究所

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  (株)富士通研究所

• 大川 潭二

  富士通研究所

• 中山 治郎

  富士通 第二半導体技術部

• 米野 純次

  富士通 第二半導体技術部

• 塚越 喜雄

  富士通 第二半導体技術部

• 鈴木 茂

  富士通 第二半導体技術部

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• 野上 雅春

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著作論文

• GaAs気相エピタキシャル層のキャリア濃度制御 : エピタクシー
• ハロゲンVPE法による超格子構造の作製
• 超高均一GaAs気相エピタキシャル層の成長 : III-V族化合物半導体など
• 横型炉を用いたGaAs VPEの多数枚同時成長法 : エピタキシー(VPE)

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