231 金属ガラスの超塑性成形による櫛形カンチレバーの創製
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概要
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With development of miniaturization for equipment in recent years, the parts of the machines also should be designed and manufactured in miniaturization. So IC probe which is used to check IC and LSI, must also be fabricated in micro/miniaturization in association with an integration of IC. This research is about the fabrication method of micro-cantilever as a spring component of IC probe. The cantilever is 1.7mm in length, 18 micrometers in width, 70 micrometers in thickness and 40 micrometers in pitch. The polyimide die was machined with Excimer laser micromachining system, and Pt-based metallic glass was superplastically doe-forged and fabricated to cantilevers.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-05
著者
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