110 磁気軸受のファジィモデルに基づくスライディングモード制御
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概要
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The aim of this paper is to realize a sliding mode control system based on fuzzy model for AMB system with gyroscopic rotation. A fuzzy model of AMB system is built from the input and output data of the actual turbo-molecular pump by using fuzzy neural network. The sliding mode controller is constructed for this fuzzy model of AMB system. We did the super high-speed operation test of the actual turbo-molecular pump by using that controller and obtained good results.
- 2000-09-01
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