レーザプラズマ誘起蛍光を用いたガス圧力の高感度計測
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概要
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A highly-sensitive technique for gas pressure measurement has been developed using laser-induced plasma fluorescence. ArF laser light of 193nm is focused into CF_3I/Aγ gas mixture, where Ar is ionized by the 3-photon absorption. A highly pressure-dependent fluorescence intensity is obtained which originates from the 3-body reaction of Aγ^+_2, Aγ_2 and Aγ_2 with two Ar atoms. Pressure fluctuation in a turbulent jet is measured applying the present method. Pressure fluctuation beyond the instrumental noise level can be measured, where the instrumental noise level is 0.5 percent of the total pressure.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1993-10-25
著者
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