ニッケル基板上への窒化ホウ素膜の CVD
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1981-02-01
著者
-
伊藤 秀章
名古屋大学理工科学総合研究センター
-
高橋 武彦
名古屋大学工学部応用化学科
-
高橋 武彦
名古屋大学工学部
-
伊藤 秀章
名古屋大学
-
大竹 章夫
名古屋大学工学部応用化学科
-
伊藤 秀章
名古屋大学工学部応用化学科
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