石英系光導波路スイッチとハイブリッド素子(<特集>半導体エレクトロニクス)
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概要
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Silica-based planar lightwave circuits have been fabricated practically for optical communication networks. An optical switching device using the thermo-optic effect is fabricated, and its phase-trimming technique after their fabrication processes is developed. An approach to active waveguiding devices using silica-based material is showed by utilizing hybrid technology with semiconductor devices. A practical ONU (Optical Network Unit) device is fabricated using the hybrid PLC technology.
- 社団法人日本材料学会の論文
- 2002-09-15
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