フェムト秒レーザによる石英系平面型光波回路の低損失導波路インターコネクション技術(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
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概要
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フェムト秒レーザにより, 石英ガラス中に導波路の直接描画が可能な事が報告されている.今回我々は, より広範囲な応用が期待される石英系の平面型光波回路(PLC)上における導波路形成を試みた.ホウ素およびリンが共添加されたPLCの上部クラッド層に導波路描画を行い, 対称なモードフィールドパターンを持つ導波路損0.35dB/cm(@1550nm)の低損失シングルモード導波路の描画に成功した.また, PLC作製後における光波回路の変更や挿入を目指し, 直接描画技術によるPLCの導波路間接続を行った.描画導波路のモードフィールド径の制御により, 500μm離れた導波路同士を低損失に接続したので報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-01-21
著者
-
日比野 善典
日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所
-
日比野 善典
Nttフォトニクス研究所
-
日比野 善典
日本電信電話株式会社フォトニクス研究所
-
那須 悠介
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
神徳 正樹
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
那須 悠介
NTTフォトニクス研究所,日本電信電話株式会社
-
神徳 正樹
Nttフォトニクス研究所
-
那須 悠介
日本電信電話(株)フォトニクス研究所
-
那須 悠介
NTTフォトニクス研究所
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