Si-TiC-TiO_2混合粉末より作製したSi_3N_4-TiN複合セラミックスの微構造
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概要
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Si_3N_4-TiN ceramics prepared from Si, TiC and TiO_2 mixed powder compacts were investigated. Si_3N_4 matrix and TiN particles were formed during the sintering process of the ceramics. TiN particles about 100 nm in diameter were dispersed within β- Si_3N_4 matrix particles. Yttrium which originated from the sintering aid (Y_2O_3) was detected at Si_3N_4 matrix/TiN particle boundary, when the TiN particles were intragranularly located. It is suggested that the TiN particles were incorporated in the Si_3N_4 during the α→β transformation or grain growth of the Si_3N_4 grains.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 2000-05-01
著者
-
安富 義幸
(財)ファインセラミックスセンター
-
沢井 裕一
(株)日立製作所日立研究所
-
宮田 素之
(株)日立製作所日立研究所
-
宮田 素之
(株)日立製作所日立研究所:(現)ファインセラミックス技術研究組合シナジーセラミックス研究所
-
沢井 裕一
(株)日立製作所 日立研究所
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