31a-T-3 Arイオンスパッタ時のSi(111)7×7表面における欠陥の生成と回復

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-03-17

著者

• 岡本 創

  Ntt物性基礎研

• 平山 博之

  東工大・総理工

• 高柳 邦夫

  東工大・総理工

• 岡本 創

  東工大・総理工

• 高島 章

  東工大・総理工

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