28pPSA-14 反応性スパッタ法で作製した絶縁層薄膜 AlO_x

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-03-06

著者

• 椎木 一夫

  慶大理工

• 海住 英生

  慶大理工

• 藤田 滋雄

  慶大理工

• 原田 慎也

  慶大理工

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