イオンビームスパッタ法により作製した鉄窒化膜

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1996-09-13

著者

• 椎木 一夫

  慶大理工

• 岡林 潤

  東工大理

• 永瀬 俊彦

  慶大理工

• 岡林 潤

  慶大理工

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