27pXS-7 スパッタリング法によるZnO薄膜作製における成長温度と低温バッファー層の効果(低次元物質)(領域5)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-03-03

著者

• 中山 正昭

  阪市大院工

• 金 大貴

  阪市大院工

• 下村 剛哉

  阪市大院工

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