28p-G-5 シートプラズマのプラズマ生成領域の基礎特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
新井 健一
東海大・理
-
砂子 克彦
東海大・理
-
高山 一男
東海大・開発研
-
矢部 栄二
開発研
-
河村 和孝
東海大・開発研
-
南里 憲三
東海大・開発研
-
矢部 栄二
東海大・開発研
-
南里 憲三
東海大理
-
高山 一男
東海大開発研
-
山内 和雄
(株)昭和真空
-
高山 一男
東海大開発技研
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