30p-N-4 イオン注入用プラズマ・フィラメント型イオン源の開発
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1986-09-12
著者
-
橋本 静代
東海大理
-
渋谷 猛久
東海大
-
矢部 栄二
開発研
-
高山 一男
開発研
-
渋谷 猛久
東海大学理学部物理学科
-
渋谷 猛久
東海大学・理
-
石坂 直恵
東海大学・理
-
橋本 静代
東海大学・理
-
石坂 直恵
東海大学理
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