28p-G-4 ダブルホロー陰極型金属イオン源の新しいスパッタリング特性

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人日本物理学会の論文
• 1991-09-12

著者

• 利根川 昭

  東海大理

• 高山 一男

  開発研

• 高山 一男

  東海大

• 千田 隆之

  東海大・理

• 千田 隆之

  東海大理

関連論文

• 22pTE-12 ICR法を用いたHe^+の選択的分離実験(22pTE 核融合プラズマ(輸送・閉じ込め(4)),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 28aYP-1 シートプラズマを用いたHe^+イオンの選択的分離実験(核融合プラズマ(磁場)(輸送モデリング),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 25pYP-12 非接触プラズマ形成過程におけるV字ターゲット構造の影響(核融合プラズマ(磁場)(計測),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 27pSP-15 シートプラズマによる選択的加熱・分離の研究(27pSP プラズマ基礎(波動・加熱・不安定性・輸送・閉じ込め特性・非線形現象・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 30pWJ-3 シートプラズマ生成装置を用いた解離性再結合の観測(プラズマ分光・原子過程(領域内横断))(領域2)
• 29pWK-3 プラズマ周辺の負イオン特性を利用したガスダイバータ制御システムの開発(診断法・計測器(領域内横断))(領域2)
• 30pA27P ダイバータ模擬実験装置を用いたプラズマ周辺での水素原子負イオン特性(プラズマ計測)
• 17pRA-12 再結合プラズマでの水素ラジカル計測
• 28pXG-6 高熱流シートプラズマを用いた非接触プラズマ内の水素原子負イオン特性
• 28pXG-5 高熱流シートプラズマを用いたガスダイバーター模擬実験での水素ラジカル計測
• 27pXG-12 ストリングプラズマ流周辺の軸方向電流による反磁性
• 21aRS-11 新型オメガトロン型質量分析器の開発(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 24pD-7 マグネティックプレシース形成過程における中性粒子の衝突効果(2)
• 26aA2 マグネティックプレシース形成過程における中性粒子の衝突効果(プラズマ基礎/壁相互作用)
• 26pYN-9 傾斜ターゲット上での電流分布の非対称性とプラズマパラメータに及ぼす影響
• 29a-YX-7 シートプラズマの同位体分離II
• シートプラズマの同位体分離
• 20pRB-4 TPDプラズマのエンドプレート・バイアスによる径方向電場の制御
• 24aZM-1 理工系学生の入学形態と基礎物理学用語に関する意識調査
• 932 低エネルギー電子線照射処理を用いたセラミックス材料の表面改質
• 1506 電子線照射処理によるカーボンファイバーの脆性改善
• 4a-RA-6 平行陰極ホロー放電の分光測定
• 14a-DH-11 シート・プラズマの分光II
• 30a-CH-6 シート・プラズマの分光
• 21pZB-5 ICR法によるシートプラズマの加熱実験(21pZB プラズマ基礎(波動・加熱・プラズマ生成),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aRE-7 再結合プラズマにおける負イオン密度のモデル計算と観測(プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 23aRE-13 デタッチプラズマでの磁力線方向の熱流東の空間分布測定(プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 21aRS-7 VUV分光による再結合プラズマでの振動温度計測(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 21aRS-9 ヘリウムシートプラズマでの高周波加熱実験(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 21aRS-10 非接触プラズマでの光吸収とプラズマ流速計測(プラズマ基礎,領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核談合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 21aQC-13 水素/ヘリウム混合プラズマでのイオン種計測(核融合プラズマ(燃焼プラズマ診断法),領域2,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 23aQB-10 オメガトロン型質量分析器を用いた重水素プラズマでのイオン種計測(23aQB プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aQB-7 部分非接触プラズマの生成とプラズマ流速の基礎特性(23aQB プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 23aQB-11 シートプラズマを用いた重水素負イオンの生成過程(23aQB プラズマ基礎(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 1345 ナイロンシートと異種高分子間の接着に及ぼす電子線照射の影響(J14-9 知的材料・構造システム(9) 炭素・ポリマー関連材料,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
• 28pZL-1 ストリングプラズマ周辺に流れる電子の E×B ドリフト電流の反磁性に対する影響
• 30pA14P 高熱流シートプラズマを用いた非接触プラズマ中での負イオンの効果(プラズマ計測)
• 25pH-5 高熱流シートプラズマを用いた非接触プラズマ中での負イオンの影響
• 26pC9p 可視分光法によるHeおよびNeシートプラズマ中のイオン温度測定(計測/炉設計)
• 26pB3 シートプラズマを用いた非接触プラズマ中での負イオン計測(計測/壁相互作用)
• 28p-E-12 表面磁場によるβ=1プラズマ保持の安定性解析
• 4p-J-14 シートプラズマを用いた多種イオンの生成
• 3p-RC-8 ホロー放電イオン源からのイオン電流の加速
• 30a-ZE-13 高周波電場とカスプ磁場を用いたプラズマ源の特性(プラズマ物理・核融合(プラズマ基礎))
• 27p-ZA-9 カスプ磁場と高周波放電を用いた大口径プラズマ源
• 28p-G-10 高周波放電とカスプ磁場を用いた大口径プラズマ源
• 5a-K-12 プラズマ陰極イオン源の放電特性(II)
• 5a-K-11 イオン・アシスト・デポジション用プラズマ陰極イオン源
• 29a-Y1-2 プラズマ・スプレー・イオン源(2)
• 30p-N-4 イオン注入用プラズマ・フィラメント型イオン源の開発
• 30p-N-2 プラズマフィラメント型イオン源の放電機構
• 21aWG-8 フィラメント状プラズマにおけるホール電流の2次元特性(プラズマ基礎(非線形現象/フロー),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 19aXK-4 オメガトロン型質量分析器による再結合プラズマでのイオン種計測II(プラズマ分光・原子過程(領域内横断)(基礎実験・プラズマ源),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 19aXK-2 再結合水素プラズマでの分光計測(プラズマ分光・原子過程(領域内横断)(基礎実験・プラズマ源),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 24aXG-6 オメガトロン型質量分析器による再結合プラズマでのイオン計測(診断法・計測器/プラズマ分光・原子過程(イオン温度・流速・負イオン/EuV),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pB45P 放電電流変化に対する分子性再結合の影響(プラズマ計測, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 12aXB-11 大電流水素プラズマでの再結合過程に関する研究(フラスマ分光 原子過程 : 領域内横断, 領域 2)
• 25pQJ-14 V字ダイバーターターゲット周りの中性粒子の挙動(25pQJ 核融合プラズマ(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 25pQJ-13 パルスプラズマ発生時でのH_α発光強度の時間特性(25pQJ 核融合プラズマ(原子過程・分光・診断法),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 28aB54P シートプラズマを用いた水素原子負イオン生成(計測)
• 27pA07 シートプラズマ生成装置における分子活性化再結合の観測(計測)
• 29aYJ-11 シートプラズマ周辺の水素原子負イオン密度制御
• 4a-ZC-4 ショート・ノート形式によるレポート作成と対話教育
• 24aXG-5 シートプラズマを用いた水素原子負イオンの生成と制御II(診断法・計測器/プラズマ分光・原子過程(イオン温度・流速・負イオン/EuV),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 12aXB-10 シートプラズマを用いた水素原子負イオンの生成と制御(フラスマ分光 原子過程 : 領域内横断, 領域 2)
• 26aB37P ストリングプラズマ内の自己電場と垂直外部磁場による自発電流の特性(プラズマ基礎・応用)
• 20aWG-3 重水素プラズマでの負イオン計測と制御(核融合プラズマ(周辺プラズマ・ダイバータ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• シートプラズマ内の酸素負イオンの測定
• シートプラズマ・ガス直交系におけるOHラジカルの密度・温度測定
• 25pA34P 境界プラズマにおける自己電場と垂直外部磁場によるホール電流特性(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
• 2a-YQ-6 表面磁場によるβ=1プラズマの保持
• 5a-T-13 シートプラズマ・ガス直交系によるラジカルの生成と電子速度分布関数の測定
• 超磁歪材料薄膜へのイオン照射効果
• 2p-E-12 ホローカソードの研究
• 27pGY-2 ターゲット形状変化に対するデタッチプラズマの基礎特性(27pGY 核融合プラズマ(ダイバータ,高ベータ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 15a-M-1 ガス接触法による低温度プラズマの生成 (II)
• 1a-ZE-1 ガス接触法による低温度プラズマの生成(プラズマ物理・核融合(プラズマ生成,診断,その他))
• 15a-M-4 シートプラズマによるラジカルの生成と制御
• 12a-M-5 2電子温度プラズマ中の陰極近傍の現象
• 27p-ZA-6 小型シート・イオン源の基礎特性
• 28p-G-4 ダブルホロー陰極型金属イオン源の新しいスパッタリング特性
• 28aB33P 新型オメガトロン型質量分析器の開発(プラズマ基礎)
• 28aB08P シートプラズマでのプラズマ加熱実験(プラズマ基礎)
• 30pC32P TPDSheetIVでの部分非接触プラズマの模擬と流速測定(プラズマ計測I)
• 28aB29P 水素/重水素シートプラズマ周辺での負イオン特性(プラズマ基礎)
• 30aB08P 高密度プラズマでの解離性再結合過程(プラズマ計測I)
• 30aB11P 輻射輸送を考慮した衝突輻射モデルによる水素原子発光線の解析(プラズマ計測I)
• 01pC03P フィラメント状プラズマでのホール電流と磁場特性(プラズマ基礎)
• 30aB12P 再結合水素プラズマでの真空紫外・可視分光計測(プラズマ計測I)
• 30aB07P 水素・重水素プラズマの負イオン特性と制御(プラズマ計測I)
• 25pYG-7 デタッチプラズマ消滅過程での高エネルギー電子の影響(25pYG 核融合プラズマ(輸送・閉じ込め特性(1)・分光・計測),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
• 21aFA-9 シートプラズマを用いたICR法と拡散磁場による粒子加速に関する基礎研究(21aFA プラズマ基礎(乱流,輸送,多階層結合,粒子加速),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 18pFA-10 シートプラズマを用いたターゲットの構造変化による閉ダイパータ模擬実験(18pFA 核融合プラズマ(輸送・閉じ込め特性・分光),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 29aEC-4 水素吸蔵材を用いたダイバータ部での燃料粒子回収に関する基礎実験(29aEC 核融合プラズマ(ダイバータ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 29aEC-3 ターゲット構造変化による閉ダイバータ模擬実験(29aEC 核融合プラズマ(ダイバータ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
• 8pSR-4 シートプラズマ模擬実験装置における分子性再結合過程の解明((磁場閉じ込めプラズマ),プラズマ分光・原子過程・診断法,領域2)
• 27a-EC-12 ホローカソードから自然に流出するイオンのエネルギー分布(II)(放電)
• 24pXQ-2 分子性再結合過程でのガス・ダイバータ制御システム(24pXQ プラズマ分光・原子過程(領域内横断),領域2(プラズマ物理・核融合,放電分野))
• 31p-A6-10 LaB_6陰極を用いたホローカソードの特性について(31p A6 放電)
• 31p-YN-3 シートプラズマ・ガス直交系におけるラジカル生成(31pYN プラズマ物理・核融合(プラズマ診断,その他),プラズマ物理・核融合)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク