5a-K-11 イオン・アシスト・デポジション用プラズマ陰極イオン源

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1989-09-12

著者

• 橋本 静代

  東海大理

• 渋谷 猛久

  東海大

• 本多 徹

  東海大・理

• 高山 一男

  東海大・開発研

• 矢部 栄二

  開発研

• 高山 一男

  開発研

• 橋本 静代

  東海大・理

• 矢部 栄二

  東海大・開発研

• 渋谷 猛久

  東海大学理学部物理学科

• 原野 泰彦

  東海大・理

• 渋谷 猛久

  東海大・理

• 原野 康彦

  東海大・理

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