1a-ZE-3 ダブルホロー陰極型金属イオン源の新しいスパッタリング特性II(プラズマ物理・核融合(プラズマ生成,診断,その他))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-03-16

著者

• 高山 一男

  東海大・開発研

• 利根川 昭

  東海大・理

• 高山 一男

  東海大

• 千田 隆之

  東海大・理

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