原野 泰彦 | 東海大・理

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概要

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• 高山 一男

  東海大・開発研

• 矢部 栄二

  東海大・開発研

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  東海大学理学部物理学科

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• 塩野 忠久

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著作論文

• 5a-K-12 プラズマ陰極イオン源の放電特性(II)
• 5a-K-11 イオン・アシスト・デポジション用プラズマ陰極イオン源
• 3p-H2-6 TP-D放電型近紫外光源の特性(プラズマ物理・核融合(イオン源・シートプラズマ))
• 31a-TD-7 プラズマ陰極イオン源の放電特性(31aTD プラズマ物理・核融合(プラズマ源,基礎他))

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