27p-ZA-5 低エネルギーイオン源の特性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1992-03-12

著者

• 利根川 昭

  東海大・理

• 小野 純一

  東海大・理

• 高山 一男

  開発研

• 高山 一男

  東海大

• 安藤 正昭

  日本精工(株)電子研究所

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