3p-RC-3 TPD型電極部の圧力分布

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-03-12

著者

• 竹城 真一

  東海大・理

• 高山 一男

  東海大開発研

• 砂子 克彦

  東海大理

• 宮下 保

  東海大理

• 福井 了太

  東海大理

• 竹城 真一

  東海大理

• 福井 了太

  日本真空技術(株)技術開発部

• 宮下 保

  東海大 海

• 高山 一男

  東海大開発技研

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