15a-M-2 シート状酸素プラズマの生成

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1993-09-20

著者

• 高山 一男

  東海大開発研

• 砂子 克彦

  東海大理

• 藤田 恵輔

  東海大理

• 豊田 真教

  東海大理

• 松島 光孝

  東海大理

• 高山 一男

  東海大開発技研

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