8a-Y-1 Si^+注入したSi単結晶中の欠陥分布とDechannelling
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1972-04-05
著者
-
遠藤 守
東工大・工
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石原 宏
東京工業大学精密工学研究所
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古川 静二郎
東工大工
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夏秋 信義
東工大工
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石原 宏
東工大工
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松村 英樹
東工大工
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遠藤 守
東工大工
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古川 静二郎
東京工業大学 大学院総合理工学研究科
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