3a-J-5 Poly Si薄膜内欠陥の水素終端 : 昇温熱脱離と電子スピン共鳴による検討

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1994-08-16

著者

• 橋本 孝司

  日立半事

• 茂庭 昌弘

  日立中研

• 神垣 良昭

  日立中研

• 横川 賢悦

  日立中研

• 飯島 晋平

  日立中研

• 横川 賢悦

  日立製作所中央研究所

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