横川 賢悦 | 日立製作所中央研究所

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概要

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• 日立製作所中央研究所の論文著者

関連著者

• 横川 賢悦

  日立製作所中央研究所

• 神垣 良昭

  日立中研

• 湯之上 隆

  日立製作所半導体事業部

• 水谷 巽

  日立製作所笠戸工場

• 橋本 孝司

  日立半事

• 湯之上 隆

  日立製作所. デバイス開発センタ

• 加藤 久幸

  日立製作所半導体事業部

• 茂庭 昌弘

  日立中研

• 横川 賢悦

  日立中研

• 飯島 晋平

  日立中研

• 神垣 良昭

  日立製作所中央研究所

• 南 眞一

  日立製作所半導体事業部

• 南 眞一

  (株)ルネサステクノロジ

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著作論文

• 3a-J-5 Poly Si薄膜内欠陥の水素終端 : 昇温熱脱離と電子スピン共鳴による検討
• 低圧CVD-Si_3N_4薄膜内のスピン中心 : 電荷獲捕中心の検討
• 中性ビームアシストエッチング技術の開発
• プラズマプロセスによるSiO2/Siの照射損傷

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