神垣 良昭 | 日立製作所中央研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 日立製作所中央研究所の論文著者

関連著者

• 加藤 久幸

  日立製作所半導体事業部

• 神垣 良昭

  日立中研

• 神垣 良昭

  日立製作所中央研究所

• 横川 賢悦

  日立製作所中央研究所

• 南 眞一

  日立製作所半導体事業部

• 南 眞一

  (株)ルネサステクノロジ

著作論文

• 低圧CVD-Si_3N_4薄膜内のスピン中心 : 電荷獲捕中心の検討

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