神垣 良昭 | 日立中研

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概要

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• 日立中研の論文著者

関連著者

• 神垣 良昭

  日立中研

• 横川 賢悦

  日立製作所中央研究所

• 橋本 孝司

  日立半事

• 加藤 久幸

  日立製作所半導体事業部

• 茂庭 昌弘

  日立中研

• 横川 賢悦

  日立中研

• 飯島 晋平

  日立中研

• 神垣 良昭

  日立製作所中央研究所

• 南 眞一

  日立製作所半導体事業部

• 角南 英夫

  株式会社日立製作所中央研究所

• 南 眞一

  (株)ルネサステクノロジ

• 伊藤 容吉

  日立

• 角南 英夫

  日立

• 神垣 良昭

  日立

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著作論文

• 3a-J-5 Poly Si薄膜内欠陥の水素終端 : 昇温熱脱離と電子スピン共鳴による検討
• 低圧CVD-Si_3N_4薄膜内のスピン中心 : 電荷獲捕中心の検討
• 1)CCDの動作原理と画像処理シミュレーション(第37回テレビジョン電子装置研究会)
• 高集積・高信頼256-kb MNOS EEPROM:メモリセルの設計
• 低酸素分圧下における薄いSiO2の酸化機構

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