CVDダイヤモンド膜の研磨に関する研究(第1報) : 超音波振動の援用による砥粒レス超音波研磨法の検討
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概要
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Forming tool coated with CVD diamond film which has excellent performance for wear and friction have been expected to be ideal tools for forming processes. However, the surface of CVD diamond film appears as rather coarse due to crystalline composition, and if it is used as coating material on the tool surface, polishing is required to decrease surface roughness. In this paper, polishing method without abrasive grain assisted by ultrasonic vibration in which generated frictional heat accelerate the reaction between metal and diamond is proposed as polishing method of CVD diamond film and the polishing mechanism is discussed.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2005-09-05
著者
-
田中 信一
日本電子工業(株)
-
高木 純一郎
横浜国立大学
-
片岡 征二
都立産業技術研究所
-
高木 純一郎
横浜国立大学工学研究院システムの創生部門 機械システム工学コース
-
横沢 毅
都立産業技術研究所
-
横沢 毅
東京都立産業技術研究所
-
片岡 征二
都立産業技術研究センター
-
片岡 征二
山陽プレス工業(株)
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